小目標(biāo)紅外測(cè)溫儀 小光斑紅外測(cè)溫儀 低溫金屬 材料的沉積 生長(zhǎng)蝕刻移除工藝測(cè)溫


簡(jiǎn)要描述：
精確的測(cè)溫儀，擁有行業(yè)內(nèi)較好的信噪比，可測(cè)量低溫，實(shí)現(xiàn)控制高價(jià)值工藝與研究應(yīng)用的無可比擬的精確度。我們 的這一配置采用一根藍(lán)寶石光桿（也就是“光導(dǎo)管”）作為鏡頭，用以收集來自目標(biāo)物體的紅外輻射。光導(dǎo)管鏡頭的優(yōu)勢(shì)在于，它可測(cè)量低溫，且易于安裝在真空反應(yīng)器內(nèi)，一般用于先進(jìn)材料的沉積（生長(zhǎng)）以及蝕刻（移除）工藝。

光導(dǎo)管鏡頭配置有5種光譜響應(yīng)（波長(zhǎng)），具有以下特點(diǎn):

主要優(yōu)勢(shì)：

     ● 低溫測(cè)量功能（具體內(nèi)容請(qǐng)參照以下表格）

     ● 30-670°C溫度條件下光譜響應(yīng)為700-1650nm

     ● 70-110°C溫度條件下光譜響應(yīng)為1550nm

     ● 210-1300°C溫度條件下光譜響應(yīng)為900nm

     ● 220-1300°C溫度條件下光譜響應(yīng)為880nm

     ● 400-1500°C溫度條件下光譜響應(yīng)為650nm

     ● 響應(yīng)時(shí)間短，僅1毫秒

     ● 精確度+/- 1.5 °C或讀數(shù)的0.15%

     ● 精度0.01 °C（詳見技術(shù)資料TN-828）

模擬輸出(用戶可選4-20mA或0-10V)、以及多通道接口模塊（單個(gè)數(shù)字信號(hào)最多可使用8個(gè)傳感器，串行模擬輸出）可供選擇。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包括所有必要的電纜、電源、電腦接口軟件以及存檔/校正系統(tǒng)。