單晶硅液面光纖式雙色紅外測溫儀 生產(chǎn)廠家

1、概述

單晶硅廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池，以及集成電路、分立元件等各個領(lǐng)域。多晶硅是單晶硅的生產(chǎn)原料，單晶硅的純度比多晶硅高很多。單晶硅的純度一般為99.99999%，甚至可以達(dá)到9N或12N以上。目前國內(nèi)外多采用直拉方法獲取單晶硅。

直拉單晶爐由機(jī)械部分和電氣部分組成。機(jī)械部分包括水冷系統(tǒng)、氬氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、爐體、熱系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)。電氣部分包含速度控制單元、加熱控制單元、加熱溫度控制及三相全橋功率部件、等徑生長控制器、水溫巡檢及狀態(tài)報警、繼電器控制單元。（引用了教材文獻(xiàn)。）

直拉單晶爐的熱系統(tǒng)是用于融化單晶硅料，并保持一定溫度下單晶硅生長的整個系統(tǒng)。

加熱器是熱系統(tǒng)中的重要部件，是直接的發(fā)熱體，溫度最高可達(dá)1600℃。石墨坩堝用來盛裝石英坩堝，單晶硅裝在石英坩堝里。

紅外測溫儀測量石墨坩堝的表面溫度和單晶硅液面的溫度，與等徑控制器溫度控制器的信號疊加后，反饋給溫度控制系統(tǒng)。

2、單晶硅紅外溫度測量

硅材料是比較難測的物體，硅輻射的溫度與發(fā)射率的對應(yīng)關(guān)系如上圖。硅的發(fā)射率再某個特定區(qū)域內(nèi)是不變的。需要紅外測溫儀采用特殊的窄帶濾色片來減小發(fā)射率變化的影響。

（1）單晶硅液面溫度測量

采用短波長雙色測溫儀來測量單晶硅液面的溫度。推薦產(chǎn)品：DCTQ-714X0-7018（鏈接DCTQ-714X0系列雙色紅外測溫儀），溫度分辨率為0.1℃，溫度分辨率為0.1℃，溫度場內(nèi)的微小變化都能快速響應(yīng)，并具有極高的溫度穩(wěn)定性。

采用比色測溫的方法，可以避免硅料直徑變化的影響。視窗的污染，也不會影響測溫的準(zhǔn)確性。并有臟鏡頭檢測功能，鏡頭太臟時會提前發(fā)出信號，保證系統(tǒng)可靠工作。

DCTQ-714X0-7018產(chǎn)品特點(diǎn)如下：

測溫精度可達(dá)0.5%,重復(fù)精度為2℃，溫度分辨率達(dá)0.1℃（16bit）

響應(yīng)時間10ms～99.99s可調(diào)

采用可調(diào)焦鏡頭，測量距離0.35m至無窮遠(yuǎn)

對探測器采用PID恒溫控制，消除環(huán)境溫度對測量的影響

可視目鏡，清晰顯示被測目標(biāo)的位置及大小

兼具雙色和單色測溫功能

雙色模式下，有鏡頭臟檢測功能

采用工業(yè)級OLED屏為顯示界面，人機(jī)界面友好

軟硬件等抗干擾設(shè)計(jì)提高系統(tǒng)穩(wěn)定性，可抗2500VDC脈沖群干擾

在單晶硅的提煉純度要求較高時，會在單晶爐周圍放置線圈，保證磁場的穩(wěn)定性?；蛘呤褂脠龊嫌蟹辣髸r，在測量液面的區(qū)域，推薦使用光纖式雙色紅外測溫儀。推薦產(chǎn)品：DCTQ-T -7018（鏈接DCTQ系列光纖式雙色測溫儀）。采用可調(diào)焦鏡頭和紅色激光光源瞄準(zhǔn)，溫度分辨率為0.1℃，具有極高的溫度穩(wěn)定性。采用比色測溫的方法，可以避免硅料直徑變化的影響。視窗的污染，也不會影響測溫的準(zhǔn)確性。并有臟鏡頭檢測功能，鏡頭太臟時會提前發(fā)出信號，保證系統(tǒng)可靠工作。

（2）石墨坩堝溫度的檢測

采用短波長單色測溫儀來測量石墨坩堝的溫度。推薦產(chǎn)品：DCTQ-714X0-S-7022（鏈接DCTQ-714X0系列單色紅外測溫儀）或者經(jīng)濟(jì)款產(chǎn)品DCTQ-S-6020（鏈接DCTS系列單色紅外測溫儀）。

兩款產(chǎn)品采用1：1綠色光源對準(zhǔn)目標(biāo)，并采用可調(diào)焦鏡頭（不受安裝距離遠(yuǎn)近的限制），溫度分辨率為0.1℃，具有極高的溫度穩(wěn)定性。

在單晶硅的提煉純度要求較高時，會在單晶爐周圍放置線圈，保證磁場的穩(wěn)定性?；蛘呤褂脠龊嫌蟹辣髸r，在石墨坩堝的區(qū)域推薦使用光纖式單色紅外測溫儀