太陽能行業(yè)晶體生長爐專用紅外測溫儀
太陽能行業(yè)晶體生長爐在線測溫用PLUSFO紅外測溫儀
產(chǎn)品詳細(xì)描述
企業(yè)芯片生產(chǎn)晶圓,例如要生產(chǎn)太陽能晶圓產(chǎn)品,晶體需要從所謂的晶體生長爐(單晶爐、多晶爐)內(nèi)的熔液拉出。
從熔液形成的晶體生長由晶體化的熔液慢慢冷卻形成的。因此,測量熔液的溫度很重要,同樣,測量加熱元件的溫度以準(zhǔn)確控制過程也很重要。這二個溫度需要協(xié)調(diào)好,以確保晶體生長的優(yōu)化。
紅外測溫儀在太陽能行業(yè)的應(yīng)用
在晶體生長公司生產(chǎn)的晶體是太陽能行業(yè)晶圓需要的物件。要保證最優(yōu)的晶體生長過程,過程中的溫度必須要保證正確無誤。精工儀器公司生產(chǎn)的PLUSFO RF-4A25系列紅外雙色測溫儀可以確保實現(xiàn)晶體生長過程中的溫度的準(zhǔn)確測量。
紅外測溫10系列、40系列、42系列、44系列適合這些晶體生長的測溫。主要可用的型號有DS40N、DS44N、DG42N、DS42N,測溫范圍為350~2500°C,均為短波紅外測溫儀。根據(jù)晶體生長系統(tǒng)的型號,也可以使用DSR10N、DSR44N雙色紅外測溫儀。44系列、10系列還可以兼容總線系統(tǒng),易于集成到現(xiàn)有控制系統(tǒng)中去。
Different steps of the crystal growing. 不同的晶體生長步驟
Different steps of the crystal growth.測量晶體生長過程中的熔化溫度、加熱元件的溫度,可采用紅外測溫儀
在空間比較狹小的地方,推薦使用光纖紅外測溫儀。比如可以使用DSF40N及DSF44N系列,測溫范圍600 ~ 1800 °C ,最小探頭光圈僅僅12 mm。此外,還可以選擇直角鏡或彎曲的光纖電纜。測量光斑僅僅幾個毫米直徑。從而,對這些溫度測量任務(wù),選擇最優(yōu)的紅外測溫儀光學(xué)系數(shù),可以觀測和控制這些晶體生長過程。
紅外測溫儀紅外測溫儀在線式紅外測溫儀
鑄液、鐵水、鋼水紅外測溫系統(tǒng)
紅外測溫儀在工業(yè)鍛造中的應(yīng)用
紅外測溫儀機(jī)械安裝附件的安裝組合
低溫雙色紅外測溫儀 , 300~2000°C
高溫雙色紅外測溫儀 , 300~3750°C
成熟的紅外熱成像儀測溫技術(shù)應(yīng)該滿足的條件
雙色紅外線測溫儀的原理及性能!
紅外測溫儀用途是什么?有哪些優(yōu)點(diǎn)呢?
紅外線溫度計測量精度的影響嗎?
紅外線測溫儀在維修中的應(yīng)用!
紅外熱成像儀可以精準(zhǔn)的測量出溫度
紅外熱成像技術(shù)在森林防火中的應(yīng)用
紅外測溫儀測量目標(biāo)尺寸的指導(dǎo)
高溫紅外線測溫儀探頭 紅外溫度傳感器 精工儀器
非接觸窯爐燃燒室高溫激光瞄準(zhǔn)紅外雙色測溫儀
? 測溫范圍500~3300°C
? 線性溫度輸出 0/4 ~ 20mA
? 內(nèi)置RS485通信接口
? 內(nèi)置激光瞄準(zhǔn)或視頻瞄準(zhǔn)
? 不銹鋼外殼堅固耐用
? 短響應(yīng)時間5 ms
? 小測量光斑3.5mm
技術(shù)數(shù)據(jù)
測溫范圍 | 500~1200°C | 500~1200°C |
600~1400°C | 600~1400°C | |
700~1800°C | 700~1800°C | |
800~2500°C | 800~2500°C | |
900~3000°C 或1000~3300°C | 900~3000°C或1000~3300°C | |
子測溫范圍 | 在測溫范圍內(nèi)可調(diào), 小跨度50°C | |
光譜范圍 | 0.7 μm ~ 1.1 μm | |
光學(xué)系數(shù) | 固定焦距(650, 2000, 4000)1,小可測光斑直徑為3.5mm | |
距離系數(shù) | 50:1 (500~1200°C), 100:1 (600~1400°C) ,200:1(其它溫度范圍) | |
測量誤差2 | 0.5 %測量值(°C) | |
重復(fù)精度 | 0.1%測量值(°C) | |
NETD2 | 0.1°C | |
響應(yīng)時間(t95) | 小5ms,可調(diào),可達(dá)100s | |
比色系數(shù)(坡度) | 0.800 ~ 1.200 | |
發(fā)射率 | 0.050~1.000, 可通過接口或測溫儀上的按鈕調(diào)整 | |
透過率 | 50 % ~ 100 % | |
存儲方式 | 小值和大值存儲,通過通信接口可調(diào) | |
環(huán)溫補(bǔ)償 | 在測溫范圍內(nèi)可調(diào) | |
輸出信號 |
0/4~20 mA, 通過軟件調(diào)整,線性溫度 大負(fù)荷: 700 Ω |
|
通信接口 | 電隔離RS485接口,半雙工,大115 kBd,數(shù)據(jù)通信協(xié)議 Modbus MTU | |
瞄準(zhǔn)方式 | 激光瞄準(zhǔn) | 視頻瞄準(zhǔn) |
切換輸出/切換閾值 | 1 光耦繼電器, RLoad 小48 Ω (電隔離)/在測溫范圍內(nèi)可調(diào) | |
軟件 | Windows®下PYROSOFT Spot,可選PYROSOFT Spot Pro | |
可調(diào)參數(shù) | 通過通信接口或設(shè)備可調(diào): 發(fā)射率、透過率、環(huán)溫補(bǔ)償、響應(yīng)時間、數(shù)據(jù)存儲設(shè)置、子測溫范圍、切換輸出的切換閾值 | |
供電電源 | 24 VDC ± 25% | |
功耗 | 大1.5 W (在切換輸出處無負(fù)荷) | |
運(yùn)行溫度 | 0~70°C | |
存儲溫度 | –20~70°C | |
重量 | 約 600 g | |
外殼和尺寸 | 不銹鋼圓形外殼,帶插頭,長度 約105 mm, ? 50 mm | |
測試規(guī)則 | EN 55 011:1998, limit class A | |
防護(hù)等級 | IP65 符合 DIN EN 60529 和 DIN 40050 | |
CE認(rèn)證 |
遵守EU規(guī)則(EN 50 011) |
供貨范圍 | 操作手冊, 檢測單, 軟件PYROSOFT Spot, 無連接電纜(請單獨(dú)訂貨) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
1 其它固定焦距可按要求定制,如220 mm, 200 : 1. 2 技術(shù)指標(biāo)經(jīng)過黑體爐標(biāo)定, T環(huán)溫 = 23°C, t95 = 1 s. 3 噪聲等溫差。
附件:
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視頻瞄準(zhǔn)附件技術(shù)參數(shù)
視頻瞄準(zhǔn)技術(shù)數(shù)據(jù) | |
視頻信號 | 復(fù)合視頻信號 約1Vss @ 75 Ω (電隔離, 視頻信號可以通過軟件解除) |
顏色規(guī)范 | PAL (B), 50 Hz (可選顏色規(guī)范 NTSC (M), 60 Hz) |
分辨率 | 1/3”微型視頻磁片 628 × 586 像素 (可選NTSC: 510 × 496 像素) |
曝光控制 | 自動 |
可視視場 | 約為可調(diào)測量距離的8 % × 6 % (可選NTSC: 6.5 % × 5 %) |
日期/時間 | 實時時鐘,可存儲3天,通過軟件可調(diào) |
持久圖像顯示 | 測量光斑處的瞄準(zhǔn)標(biāo)志 , 實測溫度, 發(fā)射率 |
可選圖像顯示 | 通過軟件: 序列號、設(shè)備名稱或用戶定義的正文(16位字符)、日期、 |
時間、溫度單位°C/°F, 12/24小時顯示 |