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單晶多晶爐測(cè)溫,請(qǐng)選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀?

作者:admina來源:時(shí)間:2021-10-28 17:40:21瀏覽量:649人閱讀

  單晶多晶爐測(cè)溫,請(qǐng)選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀

選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀多晶硅生產(chǎn)開始時(shí),半導(dǎo)體硅芯在還原爐中被高電壓瞬間擊穿,通過硅芯的電流使硅芯達(dá)到工藝要求的1080℃,而且此工藝溫度在硅芯由φ7mm~φ180mm生長的過程中必須一直保持恒定。硅棒在達(dá)到1420℃時(shí)將熔化,所以精確測(cè)量多晶硅的溫度至關(guān)重要。
一、多晶硅生產(chǎn)
多晶硅生產(chǎn)開始時(shí),半導(dǎo)體硅芯在還原爐中被高電壓瞬間擊穿,通過硅芯的電流使硅芯達(dá)到工藝要求的1080℃,而且此工藝溫度在硅芯由φ7mm~φ180mm生長的過程中必須一直保持恒定。但隨著硅棒的直徑不斷增加,其相應(yīng)阻抗會(huì)不斷減小,電流對(duì)硅棒的加熱能力因而降低。要維持1080℃的恒定硅棒溫度,只能相應(yīng)不斷增大工作電流(電流將由開始時(shí)的30A增大到結(jié)束時(shí)的2800A)。如此大動(dòng)態(tài)范圍電流的變化,對(duì)生產(chǎn)設(shè)備及操作人員都提出了相當(dāng)高的要求。另外,硅棒在達(dá)到1420℃時(shí)將熔化,所以精確測(cè)量多晶硅的溫度至關(guān)重要。

選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀應(yīng)用難點(diǎn):
開始生產(chǎn)時(shí)的硅芯直徑只有φ7mm,目標(biāo)太小。
單色紅外測(cè)溫儀測(cè)量硅棒的溫度時(shí),必須將設(shè)備安裝于還原爐外部,透過密封窗口瞄準(zhǔn)爐內(nèi)目標(biāo)。視窗污染對(duì)透過率產(chǎn)生的影響而導(dǎo)致實(shí)際測(cè)量誤差。
雙層窗口玻璃對(duì)紅外信號(hào)衰減較大。
選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀優(yōu)勢(shì):
采用雙比色測(cè)溫原理直接測(cè)量目標(biāo)的真實(shí)溫度,而基本不受材料輻射率的影響,無需進(jìn)行發(fā)射率的補(bǔ)償。
目視瞄準(zhǔn),可直接看到目標(biāo)。
對(duì)窗口輕微污染不敏感。
擺脫了對(duì)紅外絕對(duì)能量的依賴,對(duì)信號(hào)衰減不敏感。

二、真空燒結(jié)爐
真空燒結(jié)爐是在真空環(huán)境中對(duì)被加熱物品進(jìn)行保護(hù)性燒結(jié)的爐子,其加熱方式比較多,如電阻加熱、感應(yīng)加熱、微波加熱等。真空燒結(jié)是在真空或保護(hù)氣氛條件下,加熱硬質(zhì)合金刀頭及各種金屬粉末壓制體實(shí)現(xiàn)燒結(jié),生產(chǎn)中物質(zhì)揮發(fā),水汽等對(duì)光路和窗口都會(huì)造成污染。

選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀優(yōu)勢(shì):測(cè)溫不受光路污染影響。 對(duì)窗口污染不敏感。

三、鹽浴爐
鹽浴爐是用熔融鹽液作為加熱介質(zhì),將工件浸入鹽液內(nèi)加熱的工業(yè)爐(能過金屬電極在鹽液中加熱)。根據(jù)爐子的工作溫度,通常選用氯化鈉、氯化鉀、氯化鋇、氰化鈉、氰化鉀、硝酸鈉、硝酸鉀等鹽類作為加熱介質(zhì)。鹽浴爐的加熱速度快,溫度均勻。工件始終處于鹽液內(nèi)加熱,工件出爐時(shí)表面又附有一層鹽膜,所以能防止工件表面氧化和脫碳。加熱時(shí)有一定的煙霧,對(duì)人體有害,應(yīng)加排煙設(shè)備。對(duì)儀器透鏡有污染。

選擇雙色測(cè)溫儀優(yōu)勢(shì):測(cè)溫不受煙霧污染的影響。測(cè)溫儀透鏡輕微污染不影響測(cè)溫。

四、鋼坯鋼帶熱軋
選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀在熱軋過程中,鋼坯在加熱爐內(nèi)被加熱,以便軟化后軋制。如果金屬溫度太低,在其后的軋制過程中將因太硬而產(chǎn)生表面裂縫,同時(shí)也會(huì)使軋制設(shè)備受到損壞。而如果金屬溫度太高,在軋制過程中將出現(xiàn)表面破裂、熔化或瑕疵。如果金屬受熱不均勻,鋼材將出現(xiàn)不規(guī)則變形,導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量低劣,甚至廢品。對(duì)單色紅外測(cè)溫儀鋼坯測(cè)溫時(shí),有氧化皮、水汽等影響,其中氧化皮發(fā)射率高,鋼坯發(fā)射率低。

選擇雙色測(cè)溫儀優(yōu)勢(shì):
沒有因?yàn)檠趸ざ鴰淼陌l(fā)射率影響。
雙色紅外測(cè)溫儀透鏡輕微污染,不影響測(cè)溫。
當(dāng)帶鋼被軋制成最終形狀后,用噴水淬火的方式來使產(chǎn)品達(dá)到需要的晶體結(jié)構(gòu)和機(jī)械特性。如果金屬冷卻速度快,金屬的晶體結(jié)構(gòu)更細(xì)、硬度較高。如果冷卻速度慢,金屬會(huì)相對(duì)柔軟且易彎曲。對(duì)某些鋼種,如雙相鋼,需要將薄板冷卻至一個(gè)較低的溫度,有時(shí)需要快速冷卻,保證硬度。在這種情況下,冷卻過程中的測(cè)溫非常重要,因?yàn)樗钱a(chǎn)品是否能夠達(dá)到合格特性的重要條件。自然地,在淬火過程中測(cè)量帶鋼溫度,水和濃的蒸汽是一個(gè)相當(dāng)嚴(yán)重的干擾。在此情況下,所選擇的傳感器必須能夠穿過蒸汽和水來測(cè)量,但是能夠穿過水層測(cè)量的傳感器是不存在的。因此需要在積水并不持續(xù)存在的情況下進(jìn)行測(cè)量。

選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀優(yōu)勢(shì):
無氧化皮帶來的發(fā)射率影響。
雙色測(cè)溫技術(shù)消除了大部分水汽的影響。
測(cè)溫儀透鏡輕微污染不影響測(cè)溫。

選擇RF-4A18紅外雙色測(cè)溫儀實(shí)際上大量的應(yīng)用證明,大多數(shù)單色紅外測(cè)溫儀測(cè)量效果不盡滿意的地方,都可以使用雙色紅外測(cè)溫儀達(dá)到較好的效果。

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