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紅外高溫計在化學(xué)氣相沉積 CVD 應(yīng)用

作者:admina來源:時間:2024-09-10 13:34:20瀏覽量:336人閱讀

  

紅外高溫計在化學(xué)氣相沉積 CVD 應(yīng)用

AST高溫計、AST紅外線測溫計、AST紅外測溫儀、AST、AST測溫顯示儀表、AST電纜、AST測溫頭
主要型號:
A系列:A250 PL/TL、A450 PL/TL、A150、A450CPL/TL
E系列:E250 PL、E450 PL、E450C PL、EL50、EL50-H
AL系列: AL30、AL390、AL514、AL45
T系列:T2-250、T2-450、TL8、TL514、TL390
AB3000、AE3000、AC3000、AM3000、P3000、FR3000、PS3000、P110、A4、TFV750/1100

化學(xué)氣相沉積 (CVD) 工藝是一種涂層工藝,它在加熱的基材表面使用熱誘導(dǎo)化學(xué)反應(yīng),試劑以氣態(tài)形式(CH4 和 H2 等離子體)提供  CVD 工藝在真空爐中進(jìn)行,溫度范圍為 600 至 2500 攝氏度。在此過程中,將一片晶種薄片放置在密封室中并加熱到 800 攝氏度左右。然后在該室中填充碳達(dá)到的氣體(CH4 &H2),在這個過程中,來自氣體的離子被解離,從而增加了石墨烯在襯底上的沉積,即目標(biāo)晶種上的碳和氫等離子體。
高溫計該應(yīng)用程序的挑戰(zhàn)性部分是等離子體發(fā)射特定波長的紅外能量,我們需要通過等離子體測量目標(biāo)的一致溫度。 AST 提供基于非接觸式紅外的高溫計,可在等離子體透明的選定波長下工作。由于 CVD 是一個耗時的過程,因此儀器的高精度和穩(wěn)定性至關(guān)重要。
PLUSFO-CVD紅外測溫儀, 具有內(nèi)置溫度顯示、模擬和數(shù)字輸出、繼電器輸出和參數(shù)設(shè)置按鍵。它的傳感頭非常小,安裝非常方便。通過 RS 232 或 RS 485 在電腦中連續(xù)記錄過程數(shù)據(jù)。

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