晶體生長過程單晶硅爐的高溫紅外測溫儀應用
詳細介紹：
晶體生長過程多晶硅爐的雙色紅外測溫儀應用
單晶硅爐常使用型號
1、二線制紅外測溫儀DG42N(350~1800°C)
2、二線制紅外測溫儀DS42N(600~2500°C)
3、二線制紅外測溫儀DG40N(350~1800°C)
4、二線制紅外測溫儀DS40N(600~2500°C)
5、四線制紅外測溫儀DG44N(350~1800°C)
6、四線制紅外測溫儀DS44N(600~2500°C)
多晶硅爐常使用RF-4A14雙色紅外測溫儀
1、低價格雙色紅外測溫儀DSR44N(700~1800°C)
2、中價格雙色紅外測溫儀DSR54N(700~1800°C)
3、中價格雙色紅外測溫儀DSR56N(700~1800°C)
4、高精度雙色紅外測溫儀DSR10N(700~1800°C)
測量空間有限時，推薦使用光纖紅外測溫儀
1、二線制紅外測溫儀DSF40N(600~1800°C)
2、二線制紅外測溫儀DGF40N(350~1800°C)
3、四線制紅外測溫儀DSF44N(600~1800°C)
4、四線制紅外測溫儀DGF44N(350~1800°C)
簡述
太陽能行業(yè)的晶圓生產需要用到單晶硅或多晶硅，是在所謂的晶體生長爐，即單晶硅爐或多晶硅爐拉晶生長的。
這種從爐內生長的單晶或多晶硅，是要從結晶爐(即單晶硅爐或多晶硅爐)熔液慢慢冷卻生長出來的。測量這種過程的結晶熔液的溫度很重要，同樣控制這個結晶過程的加熱元件的溫度也很重要。這兩種溫度必須要協調好，才能確保優(yōu)的晶體生長過程。
太陽能單晶爐可使用的DIAS紅外測溫儀有10、40、44、54、56這些系列，都可以用來測量晶體生長的熔化溫度，性價比較高的40、42、44系列型號有DS42N、DG42N或 DS40N、DG40N、DS44N、DG44N，均為短波紅外測溫儀，測溫范圍800 ~ 1800°C 或 800~2500 °C。
多晶硅爐也可使用雙色紅外測溫儀DSR44N、DSR54N、DSR56N、DSR10N。其中44、54、56、10系列可以通過總線連接到現有控制系統。
在測量空間有限時，推薦使用光纖電纜和小光纖探頭的光纖紅外測溫儀；低價格型號有DSF40N、DGF40N、DSF44N、DGF44N ，小的光纖探頭的光圈為12mm，測溫范圍可以選600~1800°C。另外，可以選擇90°鏡像附件或彎曲的光纖電纜。測量光斑僅僅幾個毫米。
不管是哪一種測量任務，都可以選擇好合適的紅外測溫儀參數，獲得較優(yōu)的效果，觀測和控制獲得極佳的晶體生長。
張掖黑體爐張掖黑體爐
太陽能行業(yè)晶體生長用DIAS紅外測溫儀
太陽能行業(yè)晶體生長爐專用紅外測溫儀
太陽能行業(yè)晶體生長爐在線測溫用PLUSFO紅外測溫儀
產品詳細描述
企業(yè)芯片生產晶圓，例如要生產太陽能晶圓產品，晶體需要從所謂的晶體生長爐(單晶爐、多晶爐)內的熔液拉出。
從熔液形成的晶體生長由晶體化的熔液慢慢冷卻形成的。因此，測量熔液的溫度很重要，同樣，測量加熱元件的溫度以準確控制過程也很重要。這二個溫度需要協調好，以確保晶體生長的優(yōu)化。
紅外測溫儀在太陽能行業(yè)的應用
在晶體生長公司生產的晶體是太陽能行業(yè)晶圓需要的物件。要保證最優(yōu)的晶體生長過程，過程中的溫度必須要保證正確無誤。精工儀器公司生產的PLUSFO RF-4A25系列紅外雙色測溫儀可以確保實現晶體生長過程中的溫度的準確測量。
紅外測溫10系列、40系列、42系列、44系列適合這些晶體生長的測溫。主要可用的型號有DS40N、DS44N、DG42N、DS42N，測溫范圍為350~2500°C，均為短波紅外測溫儀。根據晶體生長系統的型號，也可以使用DSR10N、DSR44N雙色紅外測溫儀。44系列、10系列還可以兼容總線系統，易于集成到現有控制系統中去。
Different steps of the crystal growing. 不同的晶體生長步驟
Different steps of the crystal growth.測量晶體生長過程中的熔化溫度、加熱元件的溫度，可采用紅外測溫儀
在空間比較狹小的地方，推薦使用光纖紅外測溫儀。比如可以使用DSF40N及DSF44N系列，測溫范圍600 ~ 1800 °C ，最小探頭光圈僅僅12 mm。此外，還可以選擇直角鏡或彎曲的光纖電纜。測量光斑僅僅幾個毫米直徑。從而，對這些溫度測量任務，選擇最優(yōu)的紅外測溫儀光學系數，可以觀測和控制這些晶體生長過程。
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高溫雙色紅外測溫儀 , 300~3750°C
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非接觸窯爐燃燒室高溫激光瞄準紅外雙色測溫儀
? 測溫范圍500~3300°C
? 線性溫度輸出 0/4 ~ 20mA
? 內置RS485通信接口
? 內置激光瞄準或視頻瞄準
? 不銹鋼外殼堅固耐用
? 短響應時間5 ms
? 小測量光斑3.5mm
技術數據
| 測溫范圍 | 500~1200°C | 500~1200°C |
| 600~1400°C | 600~1400°C | |
| 700~1800°C | 700~1800°C | |
| 800~2500°C | 800~2500°C | |
| 900~3000°C 或1000~3300°C | 900~3000°C或1000~3300°C | |
| 子測溫范圍 | 在測溫范圍內可調， 小跨度50°C | |
| 光譜范圍 | 0.7 μm ~ 1.1 μm | |
| 光學系數 | 固定焦距(650, 2000, 4000)1，小可測光斑直徑為3.5mm | |
| 距離系數 | 50:1 (500~1200°C)， 100:1 (600~1400°C) ，200:1（其它溫度范圍) | |
| 測量誤差2 | 0.5 %測量值(°C) | |
| 重復精度 | 0.1%測量值(°C) | |
| NETD2 | 0.1°C | |
| 響應時間(t95) | 小5ms，可調，可達100s | |
| 比色系數(坡度) | 0.800 ~ 1.200 | |
| 發(fā)射率 | 0.050~1.000， 可通過接口或測溫儀上的按鈕調整 | |
| 透過率 | 50 % ~ 100 % | |
| 存儲方式 | 小值和大值存儲，通過通信接口可調 | |
| 環(huán)溫補償 | 在測溫范圍內可調 | |
| 輸出信號 |
0/4~20 mA， 通過軟件調整，線性溫度 大負荷: 700 Ω |
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| 通信接口 | 電隔離RS485接口，半雙工，大115 kBd，數據通信協議 Modbus MTU | |
| 瞄準方式 | 激光瞄準 | 視頻瞄準 |
| 切換輸出/切換閾值 | 1 光耦繼電器, RLoad 小48 Ω (電隔離)/在測溫范圍內可調 | |
| 軟件 | Windows®下PYROSOFT Spot，可選PYROSOFT Spot Pro | |
| 可調參數 | 通過通信接口或設備可調: 發(fā)射率、透過率、環(huán)溫補償、響應時間、數據存儲設置、子測溫范圍、切換輸出的切換閾值 | |
| 供電電源 | 24 VDC ± 25% | |
| 功耗 | 大1.5 W (在切換輸出處無負荷) | |
| 運行溫度 | 0~70°C | |
| 存儲溫度 | –20~70°C | |
| 重量 | 約 600 g | |
| 外殼和尺寸 | 不銹鋼圓形外殼，帶插頭，長度 約105 mm, ? 50 mm | |
| 測試規(guī)則 | EN 55 011:1998, limit class A | |
| 防護等級 | IP65 符合 DIN EN 60529 和 DIN 40050 | |
| CE認證 |
遵守EU規(guī)則(EN 50 011) |
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| 供貨范圍 | 操作手冊, 檢測單, 軟件PYROSOFT Spot, 無連接電纜(請單獨訂貨) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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1 其它固定焦距可按要求定制，如220 mm, 200 : 1. 2 技術指標經過黑體爐標定, T環(huán)溫 = 23°C, t95 = 1 s. 3 噪聲等溫差。
附件：
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視頻瞄準附件技術參數
| 視頻瞄準技術數據 | |
| 視頻信號 | 復合視頻信號 約1Vss @ 75 Ω (電隔離, 視頻信號可以通過軟件解除) |
| 顏色規(guī)范 | PAL (B), 50 Hz (可選顏色規(guī)范 NTSC (M), 60 Hz) |
| 分辨率 | 1/3”微型視頻磁片 628 × 586 像素 (可選NTSC: 510 × 496 像素) |
| 曝光控制 | 自動 |
| 可視視場 | 約為可調測量距離的8 % × 6 % (可選NTSC: 6.5 % × 5 %) |
| 日期/時間 | 實時時鐘，可存儲3天，通過軟件可調 |
| 持久圖像顯示 | 測量光斑處的瞄準標志 , 實測溫度, 發(fā)射率 |
| 可選圖像顯示 | 通過軟件: 序列號、設備名稱或用戶定義的正文(16位字符）、日期、 |
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時間、溫度單位°C/°F, 12/24小時顯示 |
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