硅片溫度 Is 12-Si紅外測(cè)溫儀
Is 12-Si紅外測(cè)溫儀 數(shù)字式高端測(cè)溫儀，用于非接觸式測(cè)量350℃以上的硅片溫度。
主要特性
用于測(cè)量硅片；
350-1800 °C 之間的4種測(cè)溫范圍；
光譜范圍：近紅外窄帶，特別用于硅的測(cè)量；
6個(gè)固定鏡頭和3個(gè)調(diào)焦鏡頭；
響應(yīng)時(shí)間10毫秒，可調(diào)節(jié)到10秒。
簡(jiǎn)要描述
IS 12-Si紅外測(cè)溫儀配備了一個(gè)近紅外窄帶濾光器。這樣就可以可靠地測(cè)量350°C以上的薄硅片，對(duì)于紅外輻射來(lái)說(shuō)，低于該溫度，這一薄硅片就是透明的了。在這個(gè)特殊的光譜范圍內(nèi)，硅的輻射率為67%，且不受溫度影響。這就使IS 12-Si能夠檢測(cè)出硅片的正確溫度。
在溫度范圍內(nèi)測(cè)量開(kāi)始時(shí)，IS 12-Si對(duì)光是敏感的。這個(gè)敏感度隨著溫度的增加而減弱。在溫度范圍開(kāi)始時(shí)需要低溫的應(yīng)用情況下，這一效果可通過(guò)篩選光線來(lái)得以避免。
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測(cè)溫范圍 |
400...900°C 400...1300°C 350...1000°C 500...1800°C |
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測(cè)溫次區(qū)間: |
測(cè)溫范圍內(nèi)任意可設(shè)置, 最小跨度 51°C |
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測(cè)量波段: |
近紅外窄波, 測(cè)量硅材料波段 |
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信號(hào)處理: |
光信號(hào)立即數(shù)字化 |
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絕對(duì)精度: |
測(cè)量值的0.3%+ 1°C |
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重復(fù)精度: |
測(cè)量值的0.1%+ 1°C |
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分辨率: |
接口和數(shù)顯: 0.1°C, 模擬輸出: < 溫度范圍的 0.025 % |
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響應(yīng)時(shí)間 t90: |
< 10 ms 可調(diào)為 10 s |
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發(fā)射率 ε: |
0.100 ... 1.000 調(diào)幅 1/1000 |
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模擬輸出: |
線性 0 ... 20 mA 或 4 ... 20 mA, 直流 |
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數(shù)字接口: |
RS232 或 RS485 可切換 |
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瞄準(zhǔn)方式: |
內(nèi)置取景器, 附帶激光瞄準(zhǔn) |
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防護(hù)等級(jí): |
IP65 (DIN 40050) |
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環(huán)境溫度: |
0...70°C |
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存放溫度: |
-20...70°C |
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相對(duì)濕度: |
無(wú)冷凝 |
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參數(shù)設(shè)置: |
儀器本機(jī)上可進(jìn)行參數(shù)設(shè)置, 測(cè)溫?cái)?shù)據(jù)顯示 |
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CE-標(biāo)志: |
符合歐盟相關(guān)標(biāo)準(zhǔn) |
